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(80)作業用LEDライト 三菱電機先端技術総合研究所SiCパワーデバイス技術部・野口宗隆さん

2018.07.11
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クリーンルームに設置された露光機の点検に使う作業用LEDライト。機械の内部を広い範囲で明るく照らす=尼崎市塚口本町8

クリーンルームに設置された露光機の点検に使う作業用LEDライト。機械の内部を広い範囲で明るく照らす=尼崎市塚口本町8

 エアコンや鉄道車両のモーター制御装置インバーターに使われる新しい電子部品「SiC(炭化ケイ素)パワー半導体素子」の研究開発を手掛けています。

 直径約10センチの円形の基板にミクロン単位の微細な回路パターンを作ります。露光機という機械で基板上の感光膜に光を当てると回路が転写される仕組みです。

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