半導体受託生産の世界最大手、台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）は２０日までに、熊本第１工場（熊本県菊陽町）の水処理施設を報道陣に公開した。工場で使った大量の水を浄化する設備で、操業で使う水の７５％は再利用した水という。環境負荷を和らげることで、地下水減少を懸念する地元に配慮を示す狙いがある。
公開は昨年１２月の本格稼働後初めて。施設は工場棟の地下２階部分にあり、敷地面積は約２万２千平方メートルに上る。運営子会社ＪＡＳＭによると、くみ上げた地下水は半導体材料のウエハーの洗浄に用いた後、再利用処理を経て再び洗浄に用いたり、排ガスの除去に使ったりして平均４回使われる。
